Порожнистий поворотний напівпровідниковий стіл

Порожнистий поворотний напівпровідниковий стіл – це високо-точний поворотний пристрій позиціонування, розроблений спеціально для сценаріїв виробництва напівпровідників. Його основна цінність полягає у вирішенні проблем позиціонування на мікрорівні, чистого захисту та інтеграції технологічного конвеєра в обробку пластин і упаковку чіпів за допомогою «надчистої порожнистої структури + дизайну адаптації процесу напівпровідника». Він широко використовується в основних процесах, таких як фотолітографія, перевірка пластин і упаковка напівпровідників, і є ключовим компонентом для забезпечення виходу напівпровідникової продукції.

Hollow Rotary Semiconductor Table — це високо{0}}точна ротаційна система позиціонування з високою чистотою, розроблена спеціально для виробництва напівпровідникових мікросхем, пакування та процесів тестування. Він поєднує-технічні показники найвищого рівня порожнистої обертової платформи та був спеціально оптимізований для екстремальних вимог напівпровідникової промисловості. Це ключовий функціональний компонент для досягнення точного позиціонування, передачі та обробки пластин і носіїв мікросхем, що безпосередньо пов’язано з продуктивністю виробництва та ефективністю обладнання.

Основною особливістю Hollow Rotary Semiconductor Table є його ультрачистий порожнистий канал і структура, сумісна з напівпровідником: порожнистий отвір зазвичай становить 50 мм-300 мм, а внутрішня стінка каналу покрита високо-глиноземною керамікою, яка була надточно відполірована (шорсткість Ra менше або дорівнює 0,005 мкм). Його можна використовувати для проходження через трубопроводи плеча машини для перенесення пластин, трубопроводи, покриті фоторезистом, і оптичні волокна виявлення, уникаючи заплутування ліній під час обертання; Стільниця виготовлена ​​з не-магнітної нержавіючої сталі або матеріалу з карбіду кремнію, а поверхня оброблена плазмою (з рівнем чистоти 1 класу), що не створює ризику відриву частинок. Попередньо встановлений інтерфейс вакуумної адсорбції пластини та отвір позиціонування оснащені антистатичним покриттям на краях, яке відповідає стандартам захисту від електростатичного розряду для напівпровідникових чистих приміщень. Внутрішня система приводу магнітної левітації (без механічного зносу контактів) у поєднанні з напівпровідниковим спеціальним сервоконтролем точність повторного позиціонування може досягати ± 1 кутової секунди, що відповідає вимогам нанорозмірних процесів.

Порожнистий поворотний напівпровідниковий стіл є основною платформою руху для-обладнання високого класу, як-от станцій вимірювання пластин, машин для розміщення чіпів, машин для склеювання проводів, машин для фотолітографії, обладнання для перевірки напівпровідників (AOI) і вдосконаленого пакування (таких як 2,5D/3D IC). Він широко використовується на різних етапах виробництва передніх-напівпровідників, заднього-пакування та тестування, і є «наріжним каменем точного обертання», який підтримує закон Мура, щоб продовжувати рухатися вперед і досягати вищої продуктивності та меншого розміру мікросхем.

Тут, на цій сторінці, ми представляємо серію порожнистих обертових напівпровідникових столів TMN130, ви побачите таблицю даних, зображення виробництва та відео тестування наступним чином:
Ви також можете переглянути інші проекти або відвідати нашу відеогалерею на Youtube: https://www.youtube.com/@tallmanrobotics